ELLIP-SR-I
ELLIP-SR-Ⅰ 型产品是一款集光机电于一体高精度高稳定椭圆偏振光谱仪。从仪器状态调整、参数设置、数据采集一直到数据处理,均通过计算机自动完成。可工作于从近红外至紫外的宽广光谱区,波长连续可调,入射角度从20度到90度内手动可调。
主要适用于科研院所的信息光电子功能薄膜、体材料的光学性质和结构特性研究,可被研究材料种类包括:金属和合金、元素和化合物半导体、绝缘体、超导体、磁性和磁光材料、有机材料、太阳能薄膜、多层薄膜材料、液体材料等。在测量中,可按研究条件同时对入射角和波长进行自动精细扫描,从而增加研究的灵活性,便于用户获得更多的光谱信息进行数据分析,提高研究的质量和可靠性,并实现无接触无损伤测量。
该系列光谱仪的性能指标达均已达到国际同类技术的先进水平,产品畅销国内及出口海外市场。
主要特点
WINDOWS友好操作界面
实测光学常数种类:复折射率、复介电函数、吸收系数、反射率。
主要用途
1.各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析;
2.测量薄膜材料的折射率和厚度; 测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料;测量光学常数:复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R。
主要技术参数
波长范围:250-830/1100/1700/2100nm?
光源:超静氙灯
波长分辨率:1.0nm
入射角范围:20-90度(手动)
入射角精度:0.01度
度盘刻度:每格5度
样品台:?100 mm(可选配三维样品台)
样品方位调整:Z轴高度调节:20mm;
二维俯仰调节:±4°
测量模式:反射式绝对光谱值
测量方式:傅立叶变换,自动完成AC信号测量
膜厚范围:透明薄膜:1-4000nm,纳米级为佳;吸收薄膜则与材料性质相关;
膜厚精度:±0.1nm(薄膜厚度在10-100nm时)
折射率范围:1.1-10
偏振器工作方式:自动旋转,无需读数
光学常数精度优于0.5%
椭偏参数精度:D±0.02度;Y±0.01度
实测光学常数种类:复折射率( n, k );复介电函数(ε1, ε2);吸收系数α;反射率R
电脑连接方式:PCI
*选配:独有微光斑技术,高精度XY平台。