ELLIP-ER-III

多角度单波长椭圆偏振仪

ELLIP-ER-III 型产品是一款固定波长手动可变入射角椭圆偏振仪,广泛适用于大学教学和科研及太阳能领域,可用于研究金属、非晶体、太阳能材料 、非线性材料等。是一款高性价比、高集成、高稳定及操作简便易用的普及型纳米级薄膜厚测试分析仪器。

主要特点
WINDOWS友好操作界面
实测光学常数种类:复折射率、复介电函数、吸收系数、反射率。

主要用途
1.各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析;
2.测量薄膜材料的折射率和厚度;测量对象包括:金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料;测量光学常数:复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R.

主要技术参数
光源:650nm(半导体激光器)/ 632.8nm(氦氖激光器)。
入射角范围:20-90度(手动每5度间隔,精度0.05度)
样品台:约?100 mm (可配三维样品台)
样品方位调整:Z轴高度调节:20mm;
二维俯仰调节:±4°
测量模式:反射
测量方式:傅立叶变换,自动完成信号测量
膜厚范围:透明薄膜:1-4000nm,纳米级为佳;吸收薄膜则与材料性质相关;
膜厚精度:±0.5nm (薄膜厚度在10-100nm时)
折射率范围:1.1-10
偏振器工作方式:自动旋转,无需读数
系统定标方式:自洽、绝对定标。
电脑连接方式:PCI